Reinstgase werden im Vergleich zu den Industriegasen speziell nachgereinigt. Hierdurch werden Reinheiten von bis zu 8.0 (99,999999 Vol.-%) erreicht. In vielen Fällen liegt die benötigte Reinheit allerdings darunter. So liegt ein branchenüblicher Standard für Argon als Reinstgas bei 5.0 (99,999 Vol.-%). Die Verwendung von Gasen mit höherer Reinheit als für die Anwendung gefordert, empfiehlt sich unter Berücksichtigung der Kosten nicht.
Je höher die Reinheit des Gases ist, desto weniger Fremdbestandteile sind vorhanden. Diese liegen meist schon im ppm-Bereich (Teilchen je Millionen). Die Mindestreinheit sowie die Nebenbestandteile des Gases werden in dem jeweiligen Produktdatenblatt angegeben.
Reinstgase werden häufig für Forschung und Entwicklung, bei der Herstellung von Elektronik, in der Pharmazie, chemischen Industrie und im Labor verwendet.